AP-CVD-M 系列混气CVD系统系统，真空泵采用双旋片式，混气系统采用多路路浮子/质量流量供气系统，最高温度可以达到1700°C，真空度可达到5E-2 torr ，可以混合多种气体。合.得益于稳定的显微镜机械设计，也可以利用长时间的测试测量信号很弱的样品。